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槽式湿法装备 位置:>>新澳门金沙网址 >>槽式湿法装备
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跟着半导体芯片运用里的运用越趋普遍,除计算机及网路通讯等先辈工艺中,近年来跟着汽车电子、产业掌握、电源管理、功率器件等特征工艺运用也随之鼓起。
工艺技术节点也分化成28纳米和14nm等先辈工艺品级,和特征工艺65nm~0.8um两种; 根据工艺差别,槽式装备工艺也需求根据工艺需求去挑选适宜的洗濯装备;而且统筹低落晶圆洗濯本钱和统筹环境保护;

  • 下处置惩罚机能
  • 优越的装备稳定性;
  • 金属、质料及微粒子的交织净化 ;
  • 下生产率
  • 公道的价钱

槽式湿法装备的工艺运用

  • 去胶及去胶后洗濯
  • 炉管及长膜前洗濯
  • 氧化层/氮化硅蚀刻
  • 铜/钛金属蚀刻  

槽式湿法的亮点

  • 能够供应完好的湿法工艺解决方案,及前瞻的手艺计划。
  • 装备及工艺曾经经由过程国际一线大厂的考证。
  • 装备根据客户需求量身定做,可滿足客戶差别條件。
  • 优越的装备稳定性;
  • 金属、质料及微粒子的交织净化 ;
  • 下生产率;
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ULTRON B2XX/B3XX
装备平台: ULTRON B-Series
晶圆尺寸: 200mm/300mm, 
相干手艺: 全自动槽式湿法洗濯 实用造程: 晶体管, 衔接体, 图形化, 先辈内存, 封装

槽式湿法装备的规格,完整根据客户的需求所量身定做

至纯科技正在半导体的高纯工艺范畴耕作10年,曾经积累一大批优良用户,如和辉、华力、中芯国际、少鑫(睿力)、海力士等一批重点项目。已往几年客户猛烈期望至纯将产物及效劳延长的装备范畴;
2015年上海市少和副市长离别来到至纯科技观光考查,并勉励至纯能继承正在半导体、微电子等范畴有更好的科研手艺,施展更大的感化,做出更大的孝敬。至纯正在此配景和相应国度半导体、电子行业的国产化政策下;开启湿法装备的研发项目,最先取闭国家重点院校和实验室主动对接,建立研发团队及项目;
2016年设立院士工作站,针对用户正在消费和研发历程中提出的特别需求展开相干的研发事情,相干的研发项目均是针对公司中心业务相干,盘绕高纯工艺取湿法洗濯装备,现在均正在稳步停止中。           
2017年景立全资子公司(至微),卖力湿法洗濯装备的研发和制造。至纯也极吸引包罗台湾、马来西亚、韩日本等各方高端人材。同时将来也藉由至纯的实验室及工作站,取国家重点院校主动培养性半导体人材;希冀2020年能取国际接轨及合作。


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